壓力調節(jié)系列 - LDetek LDPRR
產(chǎn)品分類: 配件
壓力調節(jié)系列 - LDetek LDPRR用于半導體制造的減壓調節(jié)器特點VCR 型調節(jié)器專為半導體應用設計內(nèi)表面 b. A. 等級至e. P. 10 ra, 5 ra在100級和10級潔凈室進行所有操
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壓力調節(jié)系列 - LDetek LDPRR
用于半導體制造的減壓調節(jié)器
特點
VCR 型調節(jié)器
專為半導體應用設計
內(nèi)表面 b. A. 等級至e. P. 10 ra, 5 ra
在100級和10級潔凈室進行所有操作
無螺紋型
鎖定板密封系統(tǒng)
LDPRR調壓器系列是專為超高半導體專用生產(chǎn)線、大宗氣體管道及其他設施管道設 計的減壓調壓器。為了在半導體二次配管線上使用,調壓器的內(nèi)表面經(jīng)過處理,達 到E.P.10Ra、5Ra的B.A.級水平。一個特殊的鎖定板系統(tǒng)已經(jīng)開發(fā)和應用。該系列 的所有工藝裝配、焊接、測試和清洗都是在無塵室中進行和全面管理。
開發(fā)了推鎖式手柄,完全避免了因外界振動或氣體管路的微小振動而導致的預設值 的自行改變。您只需按下手柄就可以防止預設值的自行改變,并通過拉動手柄自由 地重置數(shù)值。
適合的應用
半導體制造
大宗氣體管道
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